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浅析热式气体质量流量计的应用领域

发表时间:2018-10-06
热式气体质量流量计是用于测量和控制气体质量流量的仪表,区别于其它气体流量计,不需要进行压力和温度修正,直接测量气体的质量流量。
应用领域:
1、半导体制造行业;
2、分析仪器设备行业;
3、各种形式的真空镀膜设备;
4、环境检测与分析设备;
5、化工、石化、食品、冶金、光纤熔炼等行业;
6、特种材料表面处理装置与燃烧;
7、混气配气系统和泄露探测系统等。
 

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